ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ И ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ МОДУЛИ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ.  ВОПРОСЫ СТАНДАРТИЗАЦИИ И УНИФИКАЦИИ

Чернецов Михаил Андреевич, аспирант, Пензенский государственный технологический университет(Россия, г. Пенза, пр. Байдукова, 1а/11), mseqtor@gmail.com
Соколов Александр Владимирович, аспирант, Пензенский государственный технологический университет(Россия, г. Пенза, пр. Байдукова, 1а/11), sokolov_av_avto@ mail.ru

 621.372

Актуальность и цели. Объектом исследования являются конструкции чувствительных элементов (ЧЭ) и измерительных модулей (ИМ) полупроводниковых датчиков давления. Предмет исследования – процессы оптимизации и унификации номенклатуры ЧЭ и ИМ датчиков физических величин. Целью работы является уменьшение себестоимости датчиков физических величин без снижения уровня их технических характеристик и показателей надежности.
Результаты. Разработаны конструктивно и функционально законченные унифицированные ЧЭ и ИМ датчиков статических и динамических давлений. Проведен анализ себестоимости датчиков, изготовленных на базе унифицированных ЧЭ и ИМ.
Выводы. Сопоставление двух методов изготовления датчиков физических величин (традиционного с использованием полного цикла изготовления и предлагаемого с применением кооперации, при которой используют покупные конструктивно и функционально законченные ЧЭ и ИМ) показало, что датчики, изготовленные по второму варианту, дешевле в 1,5–2 раза, чем по первому.

Ключевые слова

чувствительные элементы, измерительные модули, датчики давления, стандартизация.

 Скачать статью в формате PDF

1. РМГ 29-99. Рекомендации по межгосударственной стандартизации. Государственная система обеспечения единства измерения. Метрология. Основные термины и определения. – Минск : ИПК Издательство стандартов, 2000.
2. А. с. СССР 1527526. Интегральный полупроводниковый преобразователь давления / Михайлов П. Г., Козин С. А. – БИ № 45, 1989.
3. Михайлов, П. Г. Микроэлектронные датчики. Разработка и проектирование /П. Г. Михайлов, А. В. Варламов // Датчики и системы. – 2007. – № 8. – С. 23–26.
4. Михайлов, П. Г. Микроэлектронные датчики: особенности конструкций и характеристик / П. Г. Михайлов, Е. А. Мокров // Электронные компоненты. – 2006. – № 5. – С. 12–15.
5. Козин, С. А. Микроэлектронные датчики физических величин на основе МЭМС-технологий / С. А. Козин, И. Н. Баринов // Компоненты и технологии. – 2010. – № 1. – С. 24–25.
6. Белозубов, Е. М. Тонкопленочные микроэлектромеханические системы и датчики на их основе / Е. М. Белозубов,Н.Е.Белозубова, В.А.Васильев//Нанои микросистемная техника.–2009. – № 2. – С. 33–39.
7. Михайлов, П. Г. Микроэлектронный датчик давления и температуры / П. Г. Михайлов // Приборы и Системы. Управление. Контроль. Диагностика. – 2003. – № 11. – С. 29–31.